热退火工艺提供了一种用于加工基材的方法，所述方法包括：提供具有表面的基材；提供共聚物组合物，所述共聚物组合物包括：聚（苯乙烯）-b-聚（硅氧烷）嵌段共聚物组分,其中聚（苯乙烯 ）-b-聚（硅氧烷）嵌段共聚物组分的数均分子量是5到1,000kg / mol;抗氧化剂，其中共聚物组合物包含>2wt%的抗氧化剂，基于嵌段共聚物组分的重量 ；施加上述共聚物组合物的薄膜到基材表面；任选地，烘焙上述薄膜 ；通过在240到35C℃ 和包含> 20wt%02的气体气氛下加热薄膜1秒钟到4小时来退火上述薄膜；处理上述退火薄膜以从退火薄膜中除去聚（苯乙烯）嵌段和将退火薄膜中的聚（硅氧烷）嵌段转换成Si...